在電除塵器中對粉塵顆粒有兩種類型的荷電過程，對于直徑大于1μm的顆粒來說電場荷電是主要作用，顆粒碰撞沿電力線運動的負離子而帶電，這時電壓的強弱是影響這個過程的   主要因素。

    對直徑小于0.5μm的顆粒來說擴散荷電是主要作用，亞微米粒子在隨機運動時與負離子碰撞而帶電，注入的電流密度是影響擴散放電   重要的因素。濕式靜電除塵中，因放電極被水浸潤后，電子較易溢出，同時水霧被放電極jian端的電火花進一步擊碎細化，使電場中存在大量帶電霧滴，增加亞微米粒子碰撞帶電的機率，而帶電粒子在電場中運動的速度是布朗運行的數(shù)十倍，這樣就大幅度提高了亞微米粒子向集塵極運行的速度，可以在較高的煙氣流速下，捕獲   多的微粒。

    的研究表明，在高于露點溫度以上時，煙氣中的SO3在205℃（400F）以下時，主要以H2SO4的微液滴形式存在。

    其平均顆粒的直徑在0.4μm以下，屬于亞微米顆粒范疇。這也是干式靜電除塵器和FGD對SO3去除率較低的主要原因。濕式靜電除塵器對亞微米顆粒的高捕獲率，可對SO3的微液滴起相同作用。因此，濕式靜電除塵能夠   地去除亞微米粒子、霧滴，小至0.01μm的微塵，除塵效率根據(jù)運行的電場數(shù)不同甚至可達到以上。